发布日期:2021-04-02 19:15:37 浏览次数:10760 来源:晶瑞股份
2021年4月2日,上海化工区管委会和上海化工区发展公司一行来到了苏州工业园区。
参观了材料科学姑苏实验室晶瑞股份ArF光刻材料实验平台,对ArF研发平台的管理,光刻机的存放要求、运作方式、用途等进行了详细的了解。
【姑苏实验室光刻机实验平台】