超净高纯试剂公司从事超净高纯试剂的研发、生产和销售近 20 年,是国内目前主要的超净高纯试剂企业之一。公司的超净高纯试剂水平先进,多款产品达到 G4 等级,其中超净高纯双氧水、超净高纯硫酸、超净高纯氨水三大类产品已实现整体技术突破,达到 G5 等级。

- 超净高纯试剂

半/导/体/制/程/用
超高纯双氧水超高纯硫酸超高纯氨水

符合:SEMI Grade5 标准

适用于:14纳米以上集成电路加工工艺

SEMI Grade5 For 14nm and further technology node

产品信息详情

PRODUCTION BASE
品名产品应用
双氧水广泛应用于半导体前道湿法清洗工艺,包括颗粒、金 属杂质和有机物残留的清洗
硫酸应用于半导体前道光刻胶剥离和有机物残留的清洗
氨水应用于半导体前道particle及polymer的清洗
BOE应用于半导体前道氧化硅的湿法蚀刻工艺
硝酸应用于半导体前道硅蚀刻液及晶圆回收清洗
盐酸应用于半导体前道金属杂质的清洗去除
TMAH应用于半导体前道光刻胶显影剂和硅减薄工艺

高纯化学品目录

HIGH PURITY ELECTRONIC CHEMICALS
品名纯度级别UP-SSSUP-SSUP-SUPEL
过氧化氢
硫酸
氨水
异丙醇
四甲基氢氧化氨
盐酸
硝酸
氟化铵
氢氟酸
BOE
N甲基吡咯烷酮
无水乙醇
冰醋酸
甲醇
乙酸丁酯
丙酮
草酸
氢氧化钠
氢氧化钾
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